ESD靜電檢測
潔淨車間風淋前通道
人員進入風淋室前完成通行核驗與靜電檢測,形成完整無塵准入流程。
在風淋室前部署翼閘通行設備與靜電偵測踏板,配合風淋室聯動,實現核驗、偵測與風淋通行管理。
翼閘、靜電偵測踏板、風淋室連動控制
靜電偵測、風淋連動、通行授權
完成潔淨車間風淋前通道的核驗與通行管理。